薛曜为元超长子，褚遂良乃其舅祖，生平事迹，史记不详。可知者为王勃文友，咸亨初年曾与之游于四川锦州，王勃有送别诗二首记其事。万岁登封年间(696)见任春宫郎中(礼部郎中)，神功年间(697)改正议大夫，与再从弟中书舍人薛稷并以辞学知名朝野。圣历二年(699)为奉宸大夫，与天下名士李峤、员半千、阎朝隐、沈俭期、徐坚、张说、刘知几、宋之问、富嘉谟等二十六人共撰《三教珠英》，凡 1300卷。久视元年(700)五月十五日侍从武则天游幸登封石淙山，应制《奉和圣制夏日游石淙山诗》，并奉敕正书武后与诸侍从大臣的唱和诗。其后行踪无考，或即卒于长安末年(703—704)。河南登封所立《封祀坛碑》，遒密有致，为其代表作。
薛曜与薛稷同一师承，书学褚遂良，瘦硬有神,用笔细劲,结体疏朗，但较褚书险劲，更纤细，在当时享有大名，被后人评为“宋徽宗瘦金体之祖”（赵佶真书学薛曜，自创“瘦金体”）。他对褚书不作亦步亦趋的模仿，而是加以发挥，有所创造，然亦成习气，为褚书末流。 作品欣赏：《夏日游石淙诗并序》
《夏日游石淙诗并序》是薛曜的代表作，为“石淙河摩崖题记”之一。“石淙河摩崖题记”，唐久视元年（700年）三月十九日刻。高3.7米，宽3.7米，楷书，39行，行42字，为河南省最大的摩崖碑刻，分为《夏日游石淙诗并序》和《秋日宴石淙序》两部分。唐大周圣历三年（700年）夏季，武后则天率群臣巡游中岳嵩山，登封峻极后，避暑石淙河，曾在水漂石上大宴群臣。武则天即兴作诗一首《夏日游石淙》，命从臣16人奉和诗名为《侍游应制》，武则天又作序《夏日游石淙诗并序》，命薛曜书写，让工匠刻于崖壁上。16位从臣是：李显、李旦、武三思、狄仁杰、张易之、张宗昌、李峤、劳味道、姚元崇、阎朝隐、崔融、薛曜、徐彦伯、杨敬述、于季子和沈佺期。武则天在此宴请群臣一事，两唐书武后本纪失载，此碑可补其阙。诗作已收入《全唐诗》，刻本文字稍异，以碑刻为是。《秋日宴石淙序》，张易之撰文。内容主要描绘石淙河的山水景物。二者的书者皆为薛曜，其书法瘦劲奇伟， 被历代书家称为“宋徽宗瘦金体之祖”，存世作品极少，因而十分珍贵。
清人叶昌炽《语石》有评“ 观《石淙序》，其转折之处运笔太重，如黛干霜皮，礧砢多节，又如侧出之水竹箭，奔腾至千里，一曲之处，忽搏而过颡，不免捉衿肘见矣。余谓必欲学曜书，尚不如《封祀坛铭》，不失河南三龛矩鑊。”
有弟二人：薛毅官至太子舍人，薛俊官至慈州刺史。
特别重要的是，不管是按照西安碑林的资料显示，还是按照薛瓘，薛曜，薛绍三人的经历判断，都可以确定薛瓘，薛曜不可能是同一人。薛瓘是薛曜的叔伯父、薛元超的堂兄弟。也就是说薛曜与薛稷，薛顗，薛绍等人的堂兄弟。